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化學氣相沉積爐介紹

來源: 時間:2025-03-21 13:35:41 瀏覽次數:

真空化學氣相沉積爐適用于化學氣相沉積法制備碳-碳復合材料、碳-硅復合材料,如飛機剎車片、摩擦片等異形復合材料部件。是生產航空、航天材料必不可缺的設備。其工作原理是在真空保護氣氛下,利用電阻或中頻感應加熱方式,在一定的溫度下使原料氣體裂解制備的碳-碳及其它復合材料。

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